Faktor-faktor yang mempengaruhi kekuatan lenturan substrat aluminium nitrida

Faktor-faktor yang mempengaruhi kekuatan lenturansubstrat aluminium nitridaterutamanya merangkumi aspek berikut:

Parameter dan keadaan semasa proses penyediaan: Kekuatan lenturan aluminium nitrida bergantung pada parameter dan keadaan semasa penyediaannya, seperti suhu, tekanan dan masa. Sebagai contoh, substrat aluminium nitrida berprestasi tinggi baharu Alunit® AlN HP yang dilancarkan oleh CeramTec mempunyai kekuatan lenturan yang 40% lebih tinggi daripada substrat tradisional, yang berkait rapat dengan pengoptimuman proses penyediaan.

Mikrostruktur: Struktur mikro aluminium nitrida mempunyai kesan yang ketara terhadap kekuatan lenturnya. Mekanisme pengaliran haba bagi kristal tunggal AlN ialah pemindahan haba fonon, jadi kekonduksian haba dan kekuatan lenturan aluminium nitrida boleh dikawal oleh sempadan butiran, antara muka, fasa kedua, kecacatan, elektron dan penyerakan fonon itu sendiri dalam kristal. Pengaruh. Semakin sedikit kecacatan dan kekotoran, semakin tinggi kemungkinan kekuatan lenturan aluminium nitrida.

Suhu: Walaupun kekuatan aluminium nitrida tidak banyak dipengaruhi oleh suhu, kekuatan lenturnya masih boleh berubah pada suhu yang melampau. Sebagai contoh, apabila suhu ialah 1300°C, kekuatan suhu tinggi aluminium nitrida adalah lebih kurang 20% ​​lebih rendah daripada pada suhu bilik. Walau bagaimanapun, kekuatan aluminium nitrida berkurangan kurang pada suhu tinggi berbanding aluminium oksida dan silikon nitrida.

Sifat kimia: Suhu di mana aluminium nitrida mula teroksida adalah kira-kira 700°C ~ 800°C. Apabila bahan aluminium nitrida digunakan pada suhu bilik, kekuatan lenturnya tidak mudah dipengaruhi oleh pengoksidaan. Walau bagaimanapun, pada suhu tinggi atau di bawah persekitaran tertentu, pengoksidaan aluminium nitrida boleh menjejaskan kekuatan lenturnya.

Secara ringkasnya, faktor-faktor yang mempengaruhi kekuatan lenturansubstrat aluminium nitridaterutamanya termasuk parameter dan keadaan semasa proses penyediaan, struktur mikro, suhu dan sifat kimia. Dalam aplikasi praktikal, kekuatan lenturan substrat aluminium nitrida boleh dipertingkatkan dengan mengoptimumkan proses penyediaan, mengawal struktur mikro, memilih suhu dan persekitaran kimia yang sesuai mengikut keperluan khusus dan keadaan persekitaran.